金融界2024年12月23日音讯,国家知识产权局信息数据显现,美尔森先进石墨(昆山)有限公司获得一项名为“复合加热式碳化硅晶体生长炉”的专利,授权公告号 CN 222182544 U,请求日期为2023年12月。
专利摘要显现,本请求触及一种复合加热式碳化硅晶体生长炉,绵亘炉体以及置于所述炉体内腔的加热器组件和坩埚,所述坩埚坐落所述加热器组件内,所述炉体与所述加热器组件之间设有保温层,所述加热器组件经过电极固定于所述炉体,所述坩埚上固定装置籽晶盘,所述籽晶盘的内侧粘附籽晶,所述坩埚内寄存质料所述加热器组件绵亘上电阻加热器和下电阻加热器,所述上电阻加热器坐落所述下电阻加热器接近所述炉体的顶板侧。本请求中使用上电阻加热器和下电阻加热器作为热源,增加了加热面积,加速了坩埚内硅料的消融速度,更简单在炉体内构成轴向的温度梯度,使用大尺度晶体的成型。
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